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400-820-9728

UHP-Gasrohrleitung

Temperaturbereich: -254°C bis +538°C

Maximaler Betriebsdruck: 620 bar (9000 psi)

Oberflächengüte entspricht SEMI F20 Norm

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KUNGFLEX hochreine Gasstahlrohre werden aus 316L / 316L VAR hochreinem nahtlosen Edelstahl-Grundmaterial hergestellt. Nach kaltgewalzter Lösungsglühung und Elektropolitur erfüllt die Innenwand-Oberflächengüte die SEMI F20 Norm, mit geringer Partikelabgabe und niedriger Ausgasungsrate. Geeignet für ultrahochreine Spezialgas-Förderleitungen in Halbleiterprozessen. Kann mit VCR-Verschraubungen und Doppelklemmring-Verschraubungen zu reinen Gasleitungssystemen zusammengebaut werden.
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